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幹式螺杆真空泵

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幹式螺杆真空泵


  • 幹式螺杆真空泵

 幹式螺杆真空泵标準配件:

  基座和防護罩

  排氣消聲器及進氣分離器

  吸氣口

  止回閥

  真空計

 幹式螺杆泵的應用範圍:

    幹式螺杆泵在半導體合成及液晶生産上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉澱(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生産蝕刻制程和生産TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。

   在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。

   制藥行業,用于藥物的真空幹燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。

   化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝

   工業排氣;集中式真空處理系統

   擠出機的混合工藝及闆材的排氣工藝

   混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生産中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物 

        食品行業用于香料、香精濃縮,食品包裝等。

幹式螺杆真空泵

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